| Allgemeine Angaben |
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| Technologie und Messtechnik für CMOS Bauelemente | | |
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 Allocations: 1 | |
| eLearning[Provide new moodle course in current semester] |
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| Angaben zur Abhaltung |
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| Der zweiwöchige Block-Kurs wird an der Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT in München durchgeführt. Zunächst wird das Wissen der Teilnehmer/-innen über industrienahe CMOS-Fertigungstechniken von Halbleiterbauelementen, wie MOSFETs, JFETs. Dioden, Kondensatoren etc. weiter vertieft. Anschließend werden bereits fertig prozessierte 200 mm-Siliziumwafer, auf denen sich z. B. MOSFETs oder JFETs in verschiedenen Ausführungen, sowie Kondensatoren, Dioden und weitere Teststrukturen befinden, an einem halbautomatischem Waferprober elektrisch vermessen. Die so gewonnenen Daten werden ausgewertet und die Abweichungen über den Wafer hinweg auf deren Ursachen hin untersucht. |
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| Für die Anmeldung zur Teilnahme müssen Sie sich in TUMonline als Studierende*r identifizieren. |
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| Zusatzinformationen |
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