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0000002536 20W 5SWS PR Technologie und Messtechnik für CMOS Bauelemente   Hilfe Logo

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Allgemeine Angaben
Technologie und Messtechnik für CMOS Bauelemente 
0000002536
practical training
5
Winter semester 2020/21
... alle LV-Personen
Associate Professorship of Molekularelektronik (Prof. Tornow)
(Contact information)
Details
Allocations: 1 
Angaben zur Abhaltung
Der zweiwöchige Block-Kurs wird an der Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT in München durchgeführt. Zunächst wird das Wissen der Teilnehmer/-innen über industrienahe CMOS-Fertigungstechniken von Halbleiterbauelementen, wie MOSFETs, JFETs. Dioden, Kondensatoren etc. weiter vertieft. Anschließend werden bereits fertig prozessierte 200 mm-Siliziumwafer, auf denen sich z. B. MOSFETs oder JFETs in verschiedenen Ausführungen, sowie Kondensatoren, Dioden und weitere Teststrukturen befinden, an einem halbautomatischem Waferprober elektrisch vermessen. Die so gewonnenen Daten werden ausgewertet und die Abweichungen über den Wafer hinweg auf deren Ursachen hin untersucht.
no
German
Details
Für die Anmeldung zur Teilnahme müssen Sie sich in TUMonline als Studierende*r identifizieren.
Zusatzinformationen
Online information
e-learning course (moodle)